Dry vacuum pump: sistema de vácuo de bomba seca IGX (Edwards dry pumps)
A série de bombas de vácuo secas iGX define novos
padrões para bombas secas modernas com manutenção zero entre revisões; com isso, ela é uma das bombas secas mais populares do mundo, com mais de 20.000 unidades instaladas nas mais importantes fábricas de 300 mm. A linha iGX inclui interface com ferramenta MicroTIM
e conectividade Ethernet para permitir a visualização de dados importantes por meio de páginas da Web, além de um conjunto abrangente de opções de rede para garantir a disponibilidade contínua da bomba.
As bombas iGX estão disponíveis com várias velocidades máximas e variantes para atender a aplicações de processos limpos a médios. O design modular permite que os usuários configurem a bomba seca iGX para atender a requisitos individuais da fábrica. O tamanho compacto permite instalação
na ferramenta, em um local próximo ou operação remota.
Normalmente, é possível poupar 40%* com custos de serviços públicos em toda a fábrica usando as tecnologias da bomba seca iGX (em comparação com bombas secas iL/iH).
*Baseado
em uma fábrica de 300 mm nos EUA que contém 200 ferramentas, 537 bombas/70% de bombas iGX, 30%
de bombas iH/ iGX instalada com válvula de água de vazão constante.