Equipamento de controle de poluição do ar da Edwards: equipamento de vácuo e soluções para a poluição do ar para o setor de telas planas

Os processos de fabricação de telas planas (FPD, Flat Panel Display) exigem equipamentos de vácuo e redução capazes de suportar imensas câmaras e processamento e fornecer grandes vazões de gás com o máximo de confiabilidade. Bombas de vácuo são necessárias para bombear gases tóxicos, pirofóricos e corrosivos e para lidar com um grande número de subprodutos sólidos do processo, formados nas câmaras do processo de fabricação. A liderança tecnológica da Edwards é nitidamente demonstrada pelos clientes da empresa, que constantemente escolhem a Edwards como parceiro favorito.  

A experiência da Edwards em FPD permite o desenvolvimento de soluções que resolvem os problemas de processo dos clientes e otimizam a produtividade. A ampla linha de bombas turbomoleculares (TMPs, Turbo Molecular Pumps) e secas é desenvolvida para maximizar a produção de substrato e remover completamente a umidade dos processos, ao mesmo tempo que há uma redução no consumo de energia, espaço necessário e peso. Elas são combinadas aos sistemas de gerenciamento de exaustão, capazes de gerenciar altos fluxos de gás e realizar a redução eficiente de gases tóxicos e inflamáveis, com longos intervalos de manutenção e possibilidade de conexão de várias câmaras a uma ferramenta, proporcionando uma solução completa e integrada de vácuo e redução. A introdução de designs novos e inovadores das bombas secas, incluindo iXH, iXL e iXM, reduziu o número de bombas de processo necessárias por câmara, mas ainda assim com alta produção e baixo consumo de energia, além do modo verde para reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos. 

A demanda futura por dispositivos de melhor resolução, mais interativos, ultrafinos e flexíveis leva a Edwards a desenvolver soluções mais inteligentes, que reduzam o custo de propriedade e melhorem o tempo de atividade dos processos.   Independentemente do futuro das telas, você pode ficar tranquilo, pois a Edwards continuará a ser essencial nos processos de fabricação de telas.