Exhaust Management Solutions
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Equipamentos para controle de poluição do ar: Spectra G
A Edwards é líder mundial em soluções de gerenciamento de exaustão. As metas da empresa estão muito além da destruição de gases tóxicos e que causam o aquecimento global, que afetam o meio ambiente.
A Edwards é especialista em aplicações e compreende os processos dos clientes, desenvolvendo soluções concentradas em manter a produtividade e reduzir riscos. Atendendo aos principais OEMs de ferramentas de processo e com presença em todas as grandes fábricas de semicondutores do mundo, a Edwards fornece produtos desenvolvidos para atender a requisitos específicos de processos existentes e em desenvolvimento.
As soluções da Edwards melhoram o tempo de atividade dos processos, a produção e a conformidade com normas de segurança, ao mesmo tempo equilibrando os requisitos de baixo custo de propriedade (muitas vezes conflitantes) por meio da redução das emissões ambientais e aumento da vida útil dos produtos com redução dos custos de manutenção contínuos.
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ATLAS
Atlas Series for the Semiconductor, Flat Panel Display, Photovoltaic & LED markets.
- Atlas - Inward Fire Combustor Technology
- Atlas Etch - Unrivaled Abatement of CF4 & Other High GWP Gases
- Atlas FPD Etch - Designed to Cope with Higher Flows & Aggressive Processes
- Atlas Helios - Ideal for Phosphide & Nitride Processes
SPECTRA
Spectra Series for the Flat Panel Display, Photovoltaic & LED markets.
- Spectra G - Clean Abatement for GaN Processes
- Spectra Z - Unique 4-Stage Combustion Technology Suited to Handle High Volumes of Pyrophoric Materials
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Our History
When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.
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